国家/地区 美国(6)
IPC部 C(6)
IPC大类 G06(6) C01(4) H01(4)
B32(3) B82(3) C23(3)
B29(2) H05(2)
IPC小类 G06F(6) C01B(4) B32B(3)
B82Y(3) H01B(3) H01L(3)
C23C(2)
IPC G06F003/045(6)
发明人
公开年 2012(2)
申请年 2012(2)  2014(2) 
专利权人