| 国家/地区 | 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 印度(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(3)
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| IPC大类 |
C03(3)
|
| IPC小类 |
H01L(3)
B32B(2)
B82Y(2)
C03C(2) C23C(2) C25D(2) |
| IPC |
H01L021/02(3)
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| 发明人 | |
| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
YUNG K, LIEM H, CHOY H, LIN H, RONG J, CAI H
