国家/地区 中国(3) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 印度(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C03(3)
IPC小类 H01L(3) B32B(2) B82Y(2)
C03C(2) C23C(2) C25D(2)
IPC H01L021/02(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人