国家/地区 | 美国(3) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)![]() |
IPC小类 |
C23C(3)
H01L(3)
B05D(2)
B32B(2) B82Y(2) |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2011(2) |
申请年 |
2010(3)![]() |
专利权人 |
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B
KIM S O, LEE W J, LEE D H, HAN T H, KIM J E, LEE J A, LEE K J