国家/地区 美国(3) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) H01L(3) B05D(2)
B32B(2) B82Y(2)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2011(2)
申请年 2010(3)
专利权人