国家/地区 世界知识产权组织(4) 美国(3) 中国(2) 韩国(2)
IPC部 C(5) H(5) B(3)
G(2)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) H01L(5) B82Y(2)
C01B(2) C09D(2)
IPC H01L051/00(5)
发明人
公开年 2021(5)
申请年 2020(3)  2021(2) 
专利权人