国家/地区 中国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 A(5)
IPC大类 C23(5)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) B82Y(2)
H01L(2)
IPC C23C016/26(5)
发明人
公开年 2017(3)
申请年 2016(5)
专利权人