国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
A(5)![]() |
IPC大类 |
C23(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(3)
B82Y(2)
H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2017(3) |
申请年 |
2016(5)![]() |
专利权人 |
DUAN X, ZHAO S, LIU X, XU Z
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
FANG Y, SHI J, LI H, LI X
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M