国家/地区 美国(4) 中国(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2)
IPC部 A(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y030/00(3) C23C016/26(3) C01B032/186(2)
C01B032/194(2) C23C016/02(2) H01L021/02(2)
发明人
公开年 2017(3)
申请年 2016(4)
专利权人