国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 日本(3) 世界知识产权组织(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) |
IPC部 |
A(4)![]() |
IPC大类 |
C01(4)![]() |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
B82Y030/00(3)
C23C016/26(3)
C01B032/186(2)
C01B032/194(2) C23C016/02(2) H01L021/02(2) |
发明人 | |
公开年 | 2017(3) |
申请年 |
2016(4)![]() |
专利权人 |
PARK H G, HEIGHT M, CHOI K, PARK H
TANG Y, ZHANG J, XU R, LIU D, ZHENG Y, LIU X
ZARETSKI A, LIPOMI D J, SAVTCHENKO A, MOLOKANOVA E, MERCOLA M