国家/地区 中国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 B32(3)
IPC小类 B32B(3) C01B(3) B82Y(2)
C23C(2) H01L(2)
IPC B32B043/00(3)
发明人 KIM H(2)
公开年 2012(2)
申请年 2012(2) 
专利权人