国家/地区 |
台湾(6)![]() |
IPC部 |
B(6)![]() |
IPC大类 |
B32(6)![]() |
IPC小类 |
B32B(6)
C01B(5)
B82Y(4)
B05D(3) C23C(3) H01L(3) H01B(2) |
IPC |
B32B009/00(4)
B82Y030/00(4)
C01B031/02(4)
B82Y040/00(3) C01B031/04(3) B05D005/12(2) B32B027/06(2) C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2) H01L027/12(2) H01L029/06(2) |
发明人 | |
公开年 |
2011(6)![]() |
申请年 | 2010(3) 2009(2) |
专利权人 |
IVANOVICI S, YANG S, FENG X, MUELLEN K, MULLEN K
ADLER U, RODE D, BURESCH I, WANG J, FRECKMANN D, SCHMIDT H, ROHDE D, WANG Y
WOLF A, LOLLI G, MLECZKO L, SCHLUETER O F, SCHLUETER O F K, SCHLUTER O F
MCFEELY F R, YURKAS J J, OIDA S, HANNON J B