国家/地区 台湾(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 C01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC B82Y010/00(2) B82Y040/00(2) C01B032/182(2)
H01L029/16(2)
发明人
公开年 2022(4)
申请年 2021(4)
专利权人