国家/地区 美国(5)
IPC部 B(5)
IPC大类 C25(5) C01(3) C23(3)
H01(2)
IPC小类 C25D(5)
IPC C01B031/04(3) C23C016/26(3) C23C014/34(2)
H01L021/02(2)
发明人
公开年 2016(5)
申请年 2015(3)  2016(2) 
专利权人