| 国家/地区 | 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
C23(4)
C01(3)
B82(2)
H01(2) |
| IPC小类 |
C23C(4)
C01B(3)
B82Y(2)
H01L(2) |
| IPC |
C23C016/505(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2023(4)
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| 申请年 | 2021(2) |
| 专利权人 |
CHO S M, CHO M G, OH H G, CHO M, OHHONGGI
JOUIAD M, EL MARSSI M, LEJEUNE M
LEE C, JUNG A, SHIN H, SHIN K, SHIN K W, SHIN H J, JUNG A R, LEE C S
