国家/地区 韩国(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 B(4)
IPC大类 C23(4) C01(3) B82(2)
H01(2)
IPC小类 C23C(4) C01B(3) B82Y(2)
H01L(2)
IPC C23C016/505(4)
发明人
公开年 2023(4)
申请年 2021(2) 
专利权人