国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) C01(2) H01(2)
IPC小类 C23C(3) C01B(2) H01G(2)
IPC C23C016/02(3)
发明人
公开年
申请年 2018(3)
专利权人