国家/地区 | 韩国(3) |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 | H01(3) C23(2) |
IPC小类 | H01L(3) C23C(2) |
IPC |
C23C016/26(2)
H01L021/02(2)
H01L029/16(2)
H01L051/00(2) |
发明人 | CHO K W(3) LEE E(2) |
公开年 |
2020(3)![]() |
申请年 | 2019(3) |
专利权人 |
CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(3)![]() |