国家/地区 韩国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 H01(3) C23(2)
IPC小类 H01L(3) C23C(2)
IPC C23C016/26(2) H01L021/02(2) H01L029/16(2)
H01L051/00(2)
发明人 CHO K W(3) LEE E(2)
公开年 2020(3)
申请年 2019(3) 
专利权人 CENT ADVANCED SOFT ELECTRONICS(3)