| 国家/地区 | 美国(4) 韩国(3) 日本(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
|
| IPC |
C23C016/26(4)
|
| 发明人 | |
| 公开年 |
2009(4)
|
| 申请年 | 2008(2) 2009(2) |
| 专利权人 |
CECCO A, DRESSELHAUS M, KONG J, CECCO A R, DRESSELHAUS M S
SUEMITSU M, KONNO A, MIYAMOTO Y, MAKI S, ASSEUSI G, YU M
CHOI J, SHIN H, YOON S, CHOI J Y, SHIN H J, YOON S M, IN Z
