国家/地区 韩国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2） C23（2） H01（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C23C016/26（2）
发明人 KIM K（2）
公开年 2023（2）
申请年
专利权人

Manufacture of wiring used in electronic device, involves growing graphene layer on substrate using plasma of hydrocarbon at specific temperature by plasma enhanced chemical vapor deposition, and doping graphene layer with metal.

LEE C, LEE M, SHIN H, BYUN K, KIM K, SHIN K, SHIN K W, KIM K B, BYUN K E, SHIN H J, HYUN L, LEE C S

Controlling stress of amorphous carbon film, comprises depositing first amorphous carbon layer on substrate, and stacking graphene layer on amorphous carbon layer, and depositing second amorphous carbon layer on graphene and carbon layer.

KIM K