国家/地区 |
中国(6)![]() |
IPC部 |
C(6)![]() |
IPC大类 |
C01(6)![]() |
IPC小类 |
C01B(6)![]() |
IPC |
C23C016/26(6)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) |
申请年 | 2012(2) 2013(2) |
专利权人 |
LI Z, ZHANG L, TU R, XU Q, ZHANG S
JOHNSON A T, GUDIBANDE R R, QI Z J, JOHNSON A, GUDIBANDE R, QI Z
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
NAITO K, YOSHINAGA N, NAKANO Y, AKASAKA Y, MATAKE S, AKITA M, MATEKE S
AN K, CHUNG T, JUNG D, KIM C G, KIM H S, LEE S S, LEE Y K, AN K S, CHUNG T M, LEE S, LI Y, KIM C, KIM H