国家/地区 中国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C01(5) H01(5) B82(4)
B32(3) C23(3) H05(2)
IPC小类 C01B(5) H01B(5) B82Y(4)
B32B(3) H01L(3) C23C(2)
C23F(2)
IPC C01B031/02(5)
发明人 AHN J(2) HONG B(2) HONG B H(2)
公开年 2011(5)
申请年 2010(3) 
专利权人 UNIV SUNGKYU.(2) UNIV SUNGKYU.(2) UNIV SUNGKYU.(2)