国家/地区 韩国（2） 美国（2）
IPC部 B（2）
IPC大类 B22（2）
IPC小类 B22F（2）
IPC B22F003/24（2） B22F009/04（2） B23Q003/15（2）
C22C038/10（2） C23C004/11（2） C23C004/134（2）
H01L021/683（2） H01L021/687（2） H02N013/00（2）
发明人 HANSANG K（2）
公开年 2022（2）
申请年 2022（2）
专利权人 UNIV PUKYONG.（2）

Manufacturing electrostatic chuck having high heat dissipation property, high resistance to thermal shock and lightness, involves preparing composite powder by ball-milling aluminum or aluminum alloy powder and carbon-based nanomaterial powder, preparing electrode layer and forming dielectric layer.

KWON H, HANSANG K

Manufacturing electrostatic chuck having high heat dissipation property, involves preparing composite powder by ball-milling aluminum or aluminum alloy powder and carbon-based material powder, manufacturing multilayer billet, extruding and forming dielectric layer.

KWON H, HANSANG K