国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C01B(5)![]() |
IPC |
C23C016/54(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2013(3) 2014(2) |
申请年 |
2013(5)![]() |
专利权人 |
JIN H, LIU Z, ZHOU Z, PENG P
KOBAYASHI T, SHIMIZU K, KADONO K, MIZUGUCHI Y, MURAKAMI Y, MIZUKUCHI Y, SUMINO K
DU C, HUANG D, LI Z, SHI H, WEI D, ZHANG Y