国家/地区 中国(2)
IPC部 C(2)
IPC大类 C23(2)
IPC小类 C23C(2)
IPC H01L021/20(2) H01L021/205(2) H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(2)
申请年 2012(2) 
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)