国家/地区 | 中国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 韩国(2) 台湾(2) 世界知识产权组织(2) |
IPC部 |
B(3)![]() |
IPC大类 |
B32(3)![]() |
IPC小类 |
B32B(3)![]() |
IPC |
C23C014/06(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2021(3)![]() |
申请年 | 2020(2) |
专利权人 | EV GROUP THA.(2) |
BURGGRAF J, JUERGEN B
MOKKAPATI V R, POVAZAY B, UHRMANN T, ULLMANN T, MOKKAPATI V R S S, SARMA M V R, THOMAS A