国家/地区 日本（2） 韩国（2） 美国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2） C23（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC
发明人 MATSUMOTO T（2）
公开年 2017（2）
申请年 2016（2）
专利权人 TOKYO ELECTRON LTD（2）

Manufacture of graphene for fabrication of electronic device, involves adsorbing molecule having six-membered ring structure onto surface of substrate, and irradiating surface using beam of molecules containing carbon atoms.

MATSUMOTO T

Production of graphene used in semiconductor applications, involves forming catalyst metal film on substrate, which includes introducing carbons into catalyst metal film, heating catalyst metal film, and cooling catalyst metal film.

NISHIDE D, MATSUMOTO T, IFUKU R