国家/地区 美国(4) 日本(2) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4) C07(2)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B032/194(4)
发明人 KADOMA H(4)
公开年
申请年 2017(2) 
专利权人 SEMICONDUCTO.(4)