国家/地区 日本(2) 韩国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3) C23(3) C30(2)
H01(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C23C014/14(3)
发明人
公开年 2017(3)
申请年 2016(2) 
专利权人