国家/地区 中国（2） 美国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C04B041/50（2）
发明人
公开年
申请年
专利权人

Tantalum carbide-coated carbon material for e.g., LED manufacturing equipment, comprises a carbon substrate, and a tantalum carbide coating layer formed on the carbon substrate.

JO D W, CAO D, WAN J, CHO D W

Structural graphene production on silicon carbide substrate for manufacturing microelectronic devices includes depositing layer of silicon dioxide as mask, coating mask surface, and exposing to form structured pattern.

DENG P, GUO H, LEI T, ZHANG Y, ZHANG K, ZHANG F