国家/地区 | 美国(2) |
IPC部 |
C(4)![]() |
IPC大类 | C01(4) C23(4) |
IPC小类 |
C01B(4)![]() |
IPC |
C23C016/52(4)![]() |
发明人 | BRODEUR C L(2) NAGEL C J(2) |
公开年 | 2022(2) 2023(2) |
申请年 |
2022(4)![]() |
专利权人 | QUANTUM ELEM.(2) |
LI Z, ZHANG L, TU R, XU Q, ZHANG S