| 国家/地区 | 日本(2) 美国(2) |
| IPC部 |
C(2)
|
| IPC大类 |
C01(2)
|
| IPC小类 |
C01B(2)
|
| IPC |
C01B031/02(2)
H01L021/336(2)
H01L029/06(2)
H01L029/786(2) |
| 发明人 |
HIROKA M(2)
HIROOKA M(2)
OKAI M(2)
WADA Y(2) |
| 公开年 |
2011(2)
|
| 申请年 | |
| 专利权人 |
OKAI M(2)
|
OKAI M, HIROKA M, WADA Y, HIROOKA M
OKAI M, HIROOKA M, WADA Y, IWAI Y, HONMA S, ASHIGAHARA T, TAKAYUKI A, YOSHIAKI I, SHUNICHI H, HIROKA M, HOMMA S
