| 国家/地区 | 中国(2) |
| IPC部 |
C(2)
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| IPC大类 |
C04(2)
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| IPC小类 |
C04B(2)
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| IPC |
C23C016/26(2)
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| 发明人 |
ZHANG Y(2)
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| 公开年 | |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
MA L, YU Z, ZHANG L, ZHANG Y, WEI Q, YE W, ZHOU K
