国家/地区 美国(3)
IPC部 B(3)
IPC大类 C01(3) C25(3) B32(2)
B82(2) H01(2)
IPC小类 C01B(3)
IPC C01B031/04(3)
发明人 KOKUNI T(2) NAGATA T(2) OGUNI T(2)
OSADA T(2) TAKEUCHI T(2)
公开年 2013(2)
申请年 2012(3)
专利权人 SEMICONDUCTO.(2)