国家/地区 中国(5) 美国(5) 韩国(4) 欧洲专利局(EPO)(3) 日本(3) 世界知识产权组织(2)
IPC部 C(6)
IPC大类 C01(6)
IPC小类 C01B(6)
IPC C23C028/00(6)
发明人
公开年 2011(2) 2022(2)
申请年
专利权人

BAE A H, SON S I, NAM J D, LEE J H, HWANG T S, OH J S, LEE H, EAH H B, SANG I S, JAE D N, JOON S O, JUN H L, TAE S H, HWANG T, LEE J, NAN J, PAE A, SUN S, OU J