| 国家/地区 | 中国(4) 美国(3) 韩国(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
C(5)
|
| IPC大类 |
C04(5)
|
| IPC小类 |
C04B(5)
|
| IPC |
C23C018/12(2)
C25D013/02(2)
C25D015/00(2)
H01L021/02(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2021(5)
|
| 申请年 | 2020(3) 2021(2) |
| 专利权人 |
ZHU J, HAN F, SHEN Q, ZHU Y, LUO H, GUO B, LIU Y
YAN S, ZHANG P, CHEN W, YANG S
