国家/地区 |
中国(2)![]() |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C23(2)
C30(2)
H01(2)
|
IPC小类 |
C23C(2)![]() |
IPC |
H01L021/20(2)
H01L021/205(2)
H01L033/00(2)
|
发明人 |
WEI Y(2)![]() |
公开年 | 2013(2) |
申请年 |
2012(2)![]() |
专利权人 | HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2) |
WEI Y, FAN S, GI Y, FAN F Y