国家/地区 日本(4)
IPC部 B(4)
IPC大类 B82(4)
IPC小类 C30B(4)
IPC B82Y040/00(3) C01B031/02(3) C30B029/02(3)
B82Y030/00(2) C01B031/04(2) C30B025/18(2)
C30B029/64(2) H01L021/02(2) H01L021/20(2)
H01L029/06(2)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2012(4)
专利权人