国家/地区 日本(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C30(4)
IPC小类 C30B(4)
IPC C01B031/02(3) H01L021/20(3) B82Y040/00(2)
C30B029/02(2) H01L021/02(2) H01L021/205(2)
H01L029/06(2) H01L033/00(2)
发明人 FAN F Y(2) FAN S(2) GI Y(2)
WEI Y(2)
公开年 2013(3)
申请年 2012(4)
专利权人 HON HAI PREC.(2) HONGFUJIN PR.(2) UNIV TSINGHU.(2)