| 国家/地区 | 美国(3) 中国(2) |
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
C01(4)
G02(4)
B32(2)
B82(2) C23(2) H05(2) |
| IPC小类 |
C01B(4)
|
| IPC |
B82Y030/00(2)
B82Y040/00(2)
C01B031/04(2)
C23C016/26(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(3) |
| 申请年 |
2013(4)
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| 专利权人 |
BYUNG Y S, KIL S C, NAG E C, HYOUNG S S, HAN Y J, JUNG H L
AVOURIS P, GARCIA A V, SUNG C, XIA F, YAN H
SUTTER P W, SUTTER E A
