国家/地区 | 日本(2) |
IPC部 |
C(2)![]() |
IPC大类 |
C01(2)![]() |
IPC小类 |
C01B(2)![]() |
IPC |
C23C026/00(2)![]() |
发明人 | |
公开年 | 2015(2) |
申请年 |
2014(2)![]() |
专利权人 |
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
HASEGAWA M, KATO R, TSUGAWA K, ISHIHARA M, OKIKAWA Y, YAMADA T