国家/地区 中国（2）
IPC部 C（2）
IPC大类 C01（2） H01（2）
IPC小类 C01B（2）
IPC C01B031/04（2） H01L021/02（2） H01L021/324（2）
H01L029/16（2）
发明人 RUHR G（2）
公开年 2016（2）
申请年 2015（2） 
专利权人 INFINEON TEC.（2）

Forming graphene structure, comprises forming body with protrusion and forming graphene layer at protrusion outer peripheral surface, or forming cylindrical opening in body and forming graphene layer at inner peripheral surface of opening.

IRSIGLER P, RUHL G, SCHULZE H, SHULZ H, RUHR G, ILSGLLE P

Method for processing substrate used in manufacture of e.g. electronic devices, involves forming graphene layer from specific layer on surface of carrier by temperature treatment.

PRUEGL K, RUHL G, RUHR G, PRUGER K