国家/地区 台湾(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 H01(5)
IPC小类 H01L(3) C01B(2) G01N(2)
IPC H01L021/66(2)
发明人
公开年 2023(5)
申请年 2022(4) 
专利权人

PARBATANI A, VAN SCHRAVENDIJK B J, VARADARAJAN B N, NARKEVICIUTE I, SRINIVASAN E, SHARMA K, KNARR R, SCHMITZ S, RAMANAN V, NOGAMI T, NGUYEN S V, HUANG H, SHOBHA H K, LI J, PEETHELA C B, EDELSTEIN D C