国家/地区 美国(5)
IPC部 C(5)
IPC大类 C23(5) H01(4) C01(3)
IPC小类 C23C(5) C01B(3) C01G(2)
H01L(2) H01M(2)
IPC C23C016/56(5)
发明人
公开年 2023(3) 2022(2)
申请年 2022(5)
专利权人