国家/地区 |
美国(5)![]() |
IPC部 |
C(5)![]() |
IPC大类 |
C01(5)![]() |
IPC小类 |
C23C(5)
C01B(4)
B82Y(3)
C25D(3) H01L(3) B05D(2) B32B(2) C01G(2) C25F(2) H01M(2) |
IPC |
C23C016/56(5)![]() |
发明人 | |
公开年 | |
申请年 | 2017(2) |
专利权人 |
LEE W S, KO Y, BAIK Y J, PARK J, LEE K S, KIM I, JEONG D S, KO Y J, PARK J K
SHIVAREDDY S, BOHM S, PATOLE S, THAKUR D B, VAN DER WEIJDE D H, BOEHM S