国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C01(3)
IPC小类 C01B(3) C23C(3) C30B(3)
B82B(2) B82Y(2) C03C(2)
H01L(2)
IPC C01B031/04(3)
发明人
公开年
申请年
专利权人