| 国家/地区 |
日本(4)
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| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 |
C01(4)
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| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC |
C23C026/00(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(2) |
| 申请年 | |
| 专利权人 |
YE N, KUBO T, SHIMIZU T
LI A W, HUNT J H, HOWE W R
LIU Z, ZHENG M, MARTENS R I, MARTENS R
TAKAHASHI M, SAITO Y, MOMO J, MORIWAKA T, KUSUMOTO N, MORIWAKA K, YONEDA Y
