国家/地区 美国(3)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3) G02(3) B32(2)
C01(2) H01(2)
IPC小类 C23C(3) G02F(3) B32B(2)
C01B(2) H01L(2)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2013(3)
申请年 2013(2) 
专利权人

KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C