国家/地区 |
美国(3)![]() |
IPC部 |
C(3)![]() |
IPC大类 |
C23(3)
G02(3)
B32(2)
C01(2) H01(2) |
IPC小类 |
C23C(3)
G02F(3)
B32B(2)
C01B(2) H01L(2) |
IPC |
C23C016/26(3)![]() |
发明人 | |
公开年 |
2013(3)![]() |
申请年 | 2013(2) |
专利权人 |
OEZYILMAZ B, NI G X, ZHENG Y, OZYILMAZ B, OEZYILMAZ B
LI G, WANG Y, LEE K
KIM T H, KIM Y K, KEE S B, KIM S K, IM C G, HO K T, GWON K Y, BEOM G S, GUK K S, GYU I C