国家/地区 中国(3)
IPC部 H(3)
IPC大类 H01(3) C01(2)
IPC小类 C01B(2) H01L(2)
IPC H01L029/16(2) H01L029/78(2) H01L029/786(2)
发明人 CHO B(2) CHO B J(2)
公开年
申请年
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(3)