国家/地区 中国(2) 美国(2)
IPC部 C(3)
IPC大类 C23(3)
IPC小类 C23C(3) C30B(3) H01L(3)
B82Y(2) C01B(2)
IPC C23C016/26(3)
发明人
公开年 2013(2)
申请年 2012(3)
专利权人 UNIV XIDIAN(2)