国家/地区 中国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C23(4)
IPC小类 C23C(4) C30B(4) C01B(3)
H01L(3) B32B(2) C25D(2)
IPC C23C016/26(4)
发明人
公开年 2016(2)
申请年 2016(2) 
专利权人