国家/地区 韩国(4)
IPC部 C(4)
IPC大类 C01(4) H01(4)
IPC小类 C01B(4)
IPC C01B031/04(4) H01L029/16(2)
发明人
公开年 2017(4)
申请年 2015(2)  2016(2) 
专利权人 KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)