| 国家/地区 | 韩国(4) |
| IPC部 |
C(4)
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| IPC大类 | C01(4) H01(4) |
| IPC小类 |
C01B(4)
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| IPC | C01B031/04(4) H01L029/16(2) |
| 发明人 | |
| 公开年 |
2017(4)
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| 申请年 | 2015(2) 2016(2) |
| 专利权人 |
KOREA INST SCI TECHNOLOGY(4)
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SON D I, SHIM J H, LEE K S, KO Y H, KOO H Y
BAE S, KIM S J, KIM T W, LEE S H, KIM M J, LEE S K, SEO T H, PARK M
KIM J H, NAH I W, OH I H, CHUNG K Y, LEE J K, CHOI W, JUNG H G, OH S H
KIM J Y, KIM S I, KIM Y H, KIM Y T, KIM C K
