| 国家/地区 | 美国(4) 韩国(3) 世界知识产权组织(3) 中国(2) 日本(2) |
| IPC部 |
B(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
B82Y(4)
C01B(4)
C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
B32B009/00(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 | 2013(3) |
| 申请年 |
2013(4)
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| 专利权人 |
NA D H, PARK E S, RYU J C, WON D K, CHEOL R J, NA D, WON D, PARK E, RYU J, YUAN D, YOO J H, LIM Y M, HUH Y
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
VLASSIOUK I V, SMIRNOV S N, PETER W H, SABAU A S, DAI S, FULVIO P F, IVANOV I N, LAVRIK N V, DATSKOS P G
