| 国家/地区 | 美国(4) 中国(3) 韩国(3) 欧洲专利局(EPO)(2) 日本(2) 世界知识产权组织(2) |
| IPC部 |
B(4)
C(4)
H(4)
|
| IPC大类 |
B32(4)
|
| IPC小类 |
B32B(4)
C01B(4)
C23C(4)
H01L(4) B82Y(3) B05D(2) C23F(2) H01B(2) |
| IPC |
C23C016/26(4)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2012(4)
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| 申请年 | 2011(3) |
| 专利权人 |
AN K, CHUNG T, JUNG D, KIM C G, KIM H S, LEE S S, LEE Y K, AN K S, CHUNG T M, LEE S, LI Y, KIM C, KIM H
KIM S O, HWANG J O, LEE D H
CHOI B, LEE E, WHANG D, CHOI B L, LEE E K, WHANG D M, CHOE P, HWANG T
