| 国家/地区 | 美国(2) |
| IPC部 |
B(2)
|
| IPC大类 |
B32(2)
|
| IPC小类 |
B32B(2)
B82Y(2)
C01B(2)
C23C(2) H01L(2) |
| IPC |
B32B009/04(2)
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| 发明人 | |
| 公开年 |
2013(2)
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| 申请年 | |
| 专利权人 |
SEACRIST M R, BERRY V, NGUYEN P T
